久久久亚洲欧洲日产国码是av,久久99国内精品自在现线,久久久99一区二区三区,九一九色国产,久久精品成人免费国产

我的訂單購(gòu)物車(0)會(huì)員中心 聯(lián)系客服 幫助中心供應(yīng)商合作 嘉立創(chuàng)產(chǎn)業(yè)服務(wù)群
領(lǐng)券中心備貨找料立推專區(qū)爆款推薦PLUS會(huì)員BOM配單 品牌庫(kù)PCB/SMT工業(yè)品面板定制

突破!首款國(guó)產(chǎn)ArF光刻膠通過認(rèn)證,可用于45nm工藝

2020-12-18 17:42:00閱讀量:360來源:芯片大師

導(dǎo)讀:12月18日,南大光電公告稱,由旗下控股子公司寧波南大光電材料自主研發(fā)的 ArF 光刻膠產(chǎn)品成功通過客戶使用認(rèn)證,線制程工藝可以滿足 45nm-90nm光刻需求。


  

圖:南大光電公告


公告稱,“ArF 光刻膠產(chǎn)品開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”是寧波南大光電承接國(guó)家“02 專項(xiàng)”的一個(gè)重點(diǎn)攻關(guān)項(xiàng)目。本次產(chǎn)品的認(rèn)證通過,標(biāo)志著“ArF 光刻膠產(chǎn)品開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目取得了關(guān)鍵性的突破,成為國(guó)內(nèi)通過產(chǎn)品驗(yàn)證的第一只國(guó)產(chǎn) ArF 光刻膠


芯片大師認(rèn)為,此舉意味著國(guó)產(chǎn)193nm ArF 光刻膠產(chǎn)品正式由研發(fā)走向量產(chǎn)階段。

認(rèn)證評(píng)估報(bào)告顯示,“本次認(rèn)證選擇客戶 50nm 閃存產(chǎn)品中的控制柵進(jìn)行驗(yàn)證,寧波南大光電的 ArF 光刻膠產(chǎn)品測(cè)試各項(xiàng)性能滿足工藝規(guī)格要求,良率結(jié)果達(dá)標(biāo)?!?/span>


本次驗(yàn)證使用的 50nm 閃存技術(shù)平臺(tái),在特征尺寸上,線制程工藝可以滿足 45nm-90nm 光刻需求,孔制程工藝可滿足65nm-90nm 光刻需求,該工藝平臺(tái)的光刻膠在業(yè)界有代表性。


公告稱與該客戶的產(chǎn)品銷售與服務(wù)協(xié)議尚在協(xié)商之中,但公告并未透露使用該光刻膠的閃存客戶是哪一家


  

圖:半導(dǎo)體光刻膠的分類(來源:興業(yè)證券)


據(jù)悉,ArF 光刻膠材料是集成電路制造領(lǐng)域的重要關(guān)鍵材料,可以用于90nm-14nm 甚至 7nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)的集成電路制造工藝,廣泛應(yīng)用于高端芯片制造(如邏輯芯片、 AI 芯片、5G 芯片、大容量存儲(chǔ)器和云計(jì)算芯片等)。


在此之前,國(guó)產(chǎn)光刻膠此前只能用于低端工藝生產(chǎn)線中,能做到G 線(436nm)、I 線 (365nm)水平,作為先進(jìn)工藝的入場(chǎng)券,攻克可用于28nm -7nm DUV工藝的193nm ArF光刻膠至關(guān)重要。而目前國(guó)內(nèi)主要在用的 ArF 光刻膠主要靠進(jìn)口,EUV光刻膠主要供應(yīng)來自日本


南大光電于2017年開始研發(fā)“193nm 光刻膠項(xiàng)目”,已獲得國(guó)家“02 專項(xiàng)”的相關(guān)項(xiàng)目立項(xiàng),公司計(jì)劃通過3年的建設(shè)、投產(chǎn)及實(shí)現(xiàn)銷售,達(dá)到年產(chǎn)25噸 193nm(ArF干式和浸沒式)光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模,產(chǎn)品將滿足集成電路行業(yè)需求標(biāo)準(zhǔn)。