導(dǎo)讀：5月11日，南大光電在業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)宣布，旗下ArF光刻膠已拿下國(guó)產(chǎn)光刻膠第一筆訂單，性能達(dá)到日本產(chǎn)品同等水平，相關(guān)原材料和生產(chǎn)設(shè)備已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。

  

來(lái)源：南大光電

2020年底，芯片大師曾報(bào)道突破！首款國(guó)產(chǎn)ArF光刻膠通過(guò)認(rèn)證，可用于45nm工藝，南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品成功通過(guò)某閃存客戶使用認(rèn)證，線制程工藝可以滿足45nm-90nm光刻需求。

5月11日，南大光電在業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)中回復(fù)投資者稱，公司的ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目目前已完成25噸光刻膠生產(chǎn)線建設(shè)，主要先進(jìn)光刻設(shè)備，如 ASML浸沒(méi)式光刻機(jī)等已經(jīng)完成安裝并投入使用。

  

圖：光刻膠是最重要的半導(dǎo)體材料之一

2020年底，公司自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品成功通過(guò)下游客戶的使用認(rèn)證，成為通過(guò)產(chǎn)品驗(yàn)證的第一只國(guó)產(chǎn)ArF光刻膠，各項(xiàng)光學(xué)性能均達(dá)到商用膠的水平，可實(shí)現(xiàn)先進(jìn)光刻膠的國(guó)產(chǎn)替代。

南大光電公告稱，從目前的測(cè)試結(jié)果看，旗下ArF光刻膠性能和日本產(chǎn)品達(dá)到同等水平，是目前國(guó)內(nèi)最先進(jìn)的光刻膠產(chǎn)品，并實(shí)現(xiàn)了ArF光刻膠的國(guó)產(chǎn)化和本土化，打破了被國(guó)外長(zhǎng)期壟斷的被動(dòng)局面。

此外，光刻膠的產(chǎn)業(yè)化已經(jīng)取得關(guān)鍵突破，南大光電透露已經(jīng)拿到國(guó)產(chǎn)光刻膠的首個(gè)訂單，實(shí)現(xiàn)小批量銷售。目前，光刻膠產(chǎn)品正在繼續(xù)發(fā)往多個(gè)下游客戶進(jìn)行驗(yàn)證工作，驗(yàn)證進(jìn)展順利。

  

圖：半導(dǎo)體光刻膠的分類

對(duì)于關(guān)鍵的原材料、設(shè)備“卡脖子”問(wèn)題，南大光電表示，目前已經(jīng)除了配備用于質(zhì)量檢測(cè)的光刻機(jī)等量測(cè)設(shè)備是國(guó)外進(jìn)口的之外，光刻膠的主要原材料是自己開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)的，生產(chǎn)設(shè)備是聯(lián)合國(guó)內(nèi)企業(yè)研制的，均不存在被卡風(fēng)險(xiǎn)。

產(chǎn)品規(guī)劃方面，南大光電稱，光刻膠項(xiàng)目2021年的主要任務(wù)是完成主要客戶認(rèn)證，2022年啟動(dòng)量產(chǎn)并力爭(zhēng)盡早實(shí)現(xiàn)盈利。

自2019年日本對(duì)韓國(guó)進(jìn)行半導(dǎo)體材料出口管制以來(lái)，光刻膠已經(jīng)成為產(chǎn)業(yè)上游自主化的關(guān)鍵，2021年以來(lái)，國(guó)內(nèi)企業(yè)的光刻膠進(jìn)口供貨持續(xù)緊張，威脅封測(cè)產(chǎn)能，因此，i線以上包括KrF、ArF和EUV光刻膠在內(nèi)的產(chǎn)品自主化對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體業(yè)有現(xiàn)實(shí)而長(zhǎng)遠(yuǎn)的意義。

相關(guān)鏈接：

自謀生路，日本半導(dǎo)體材料企業(yè)決定在韓國(guó)增產(chǎn)

CCTV：光刻膠靠搶，部分芯片交期超500天

日韓半導(dǎo)體開(kāi)戰(zhàn)，美國(guó)為什么不出手？