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三星已完成3nm制程研發(fā)!基于GAAFET

2020-01-03 18:02:05閱讀量:455來源:芯片大師

導(dǎo)讀:3年以內(nèi)晶圓代工領(lǐng)域的兩強(qiáng)相爭將更為激烈,Intel夢在何方?


1月3日,據(jù)韓媒Business Korea報(bào)道,基于GAAFET改進(jìn)工藝,三星電子已經(jīng)完成3nm制程的研發(fā)工作。


  

圖:三星3nm制程研發(fā)成功(Business Korea)



此前,我們在文章美國正制定規(guī)則,擬限制對中國出口GAAFET技術(shù)!中介紹了3nm時(shí)代具有代表性的GAAFET工藝。


2017年,IBM利用GAAFET實(shí)現(xiàn)了5nm芯片制程。在2018年5月,三星宣布將利用改良自GAAFET的專利結(jié)構(gòu)MBCFET,實(shí)現(xiàn)5nm、4nm及3nm制造工藝,而這一步終于在2020年1月3日得以實(shí)現(xiàn),這意味著三星將在代工領(lǐng)域繼續(xù)保持對臺(tái)積電的攻勢。


根據(jù)三星此前發(fā)布的工藝路線圖,將使用極紫外(EUV)曝光技術(shù)制造4個(gè)7nm至4nm的FinFET工藝,然后使用EUV制造3nm GAA和MBCFET。同7nm FinFET相比,使用GAA及衍生結(jié)構(gòu)的芯片面積最高減少45%,功耗降低50%,性能提升35%。


這項(xiàng)技術(shù)成果的落地對三星具有里程碑意義,為此,1月2日三星電子副董事長李在镕專程訪問了京畿道的三星半導(dǎo)體研究中心。而臺(tái)積電目前正處于3nm制程試產(chǎn)階段,島內(nèi)負(fù)責(zé)3nm量產(chǎn)的廠房已經(jīng)于2019年順利通過環(huán)評。