導(dǎo)讀：10月15日，ASML總裁兼CEO Peter Wennink 在三季度財(cái)報(bào)發(fā)布會(huì)上明確表示，阿斯麥從荷蘭向中國客戶提供的DUV光刻機(jī)，無需美國出口許可證。

  

圖：阿斯麥光刻機(jī)

“根據(jù)當(dāng)前法規(guī)，ASML（阿斯麥）無需獲得美國出口許可證便可以繼續(xù)從荷蘭向中國客戶出貨DUV光刻系統(tǒng)；對于直接從美國發(fā)貨系統(tǒng)或零件到受法規(guī)影響的客戶，ASML需獲得許可證?！惫饪虣C(jī)龍頭ASML 總裁兼CEO Peter Wennink 在最新季度財(cái)報(bào)說明會(huì)上對中芯國際等中國客戶的出貨情況做了解釋。

雖然沒有提到最先進(jìn)的極紫外光（EUV）出口情況如何，但這一消息也足夠振奮人心。

國內(nèi)企業(yè)面臨著制程落后的難題，以中芯國際為例，早在2018年就購買的一臺(tái)EUV光刻機(jī)，至今毫無音訊。如果DUV光刻機(jī)能順利買入，至少有希望讓制程更進(jìn)一步。

另外，ASML在財(cái)報(bào)中披露了最新的TWINSCAN NXE:3600D的規(guī)格，其生產(chǎn)效率將提升18%，在30mJ/cm2的曝光速度下每小時(shí)可處理160片晶圓。

這臺(tái)全新的極紫外光刻機(jī)，將在明年年中開始出貨。