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臺積電將關(guān)停四臺EUV光刻機(jī)?內(nèi)幕來了

2022-09-08 09:21:52閱讀量:1631來源:芯片大師

導(dǎo)讀:9月6日摩根大通最新報告指出,臺積電面臨聯(lián)發(fā)科、AMD、高通、英偉達(dá)等四大先進(jìn)制程客戶砍單,計劃關(guān)閉四臺極紫外光(EUV)光刻機(jī)以減少產(chǎn)出,月產(chǎn)能將銳減1.5萬片。


  

圖:最耗電的EUV光源部分


對此,市面上有兩種傳聞,一是臺積電需為削減產(chǎn)能而停機(jī),二是EUV耗電巨大產(chǎn)能利用率不高時干脆關(guān)掉省電費(運營成本)。


芯片大師曾報道日耗電百萬度!“高攀不起”的EUV光刻機(jī),臺積電目前擁有全球最多的EUV光刻機(jī),總數(shù)超過80臺,均分布在中國臺灣。


實際上,EUV最耗電的部分在光源,以前的193nm波長DUV光源也耗電,但升級后的EUV光源波長僅13.5nm,短波長的一次反射大約帶來30%的損耗,實際照射到晶圓上的光通量只有2%,因此需要超大功率的激光器來彌補(bǔ)。


  

圖:臺積電配套的發(fā)電廠


但即便以單臺EUV每天1MW的滿載功耗計算,不計入其他設(shè)備的情況下開機(jī)一天的耗電量達(dá)192萬度,且正常情況下保持365*24模式運行,理論上年耗電量超過7億度,電費也僅為4.4億元人民幣。


2021年,臺積電全年耗電量為170億度,總營收為568.32億美元。對比EUV采購單價、fab建造和人力成本,電費可以說是最低廉的部分之一,幾臺EUV省下的電費也實在不值一提!


很簡單的道理:你會因為省電而關(guān)掉印鈔機(jī)嗎?


  

圖:臺積電園區(qū)


據(jù)某設(shè)備廠內(nèi)部人士指出,臺積電將舊的四臺EUV光刻機(jī)關(guān)機(jī),是為了將設(shè)備升級到3600D規(guī)格,升級后的單機(jī)生產(chǎn)量能(through put)可提升18%左右。


專業(yè)人士稱,像光刻機(jī)這類高精密度的半導(dǎo)體機(jī)臺,就算市場景氣不好、客戶大幅砍訂單,晶圓廠也很少會做出關(guān)機(jī)的動作。因為關(guān)機(jī)就跟停電一樣,所有制程參數(shù)都要在重開機(jī)后重新再作調(diào)整,且無法預(yù)期可維持最佳良率。無計劃的一次關(guān)機(jī)損失可能遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于可能節(jié)省的成本。


臺積電表示,不評論市場傳聞。針對機(jī)臺設(shè)備皆有年度規(guī)劃,并依循計劃在不影響正常營運的前提下進(jìn)行例行維護(hù)與升級