導(dǎo)讀：7月21日，全球唯一的EUV光刻機(jī)供應(yīng)商——荷蘭ASML(阿斯麥)公布了2021年第二季度財(cái)報(bào)。

  

圖：Q1-Q2光刻機(jī)技術(shù)及用途構(gòu)成

財(cái)報(bào)顯示，當(dāng)季ASML凈銷售額40億歐元，毛利率50.9％，凈收入10億歐元。

同時(shí)，本季度凈預(yù)訂額達(dá)到83億歐元創(chuàng)下歷史最高值，其中EUV光刻機(jī)就有49億歐元，而總的積壓訂單金額已達(dá)175億歐元。

其中，光刻系統(tǒng)的營(yíng)收達(dá)29.49億歐元，較一季度略有下降，但從技術(shù)構(gòu)成來(lái)看，二季度EUV產(chǎn)品份額已經(jīng)大幅增長(zhǎng)，占營(yíng)收的45%。

  

圖：當(dāng)前出貨主力 NXE:3400C

ASML在財(cái)報(bào)中還披露，第一臺(tái)全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機(jī)已經(jīng)交付給客戶，相比之前的NXE:3400C生產(chǎn)力提高了15%-20％，覆蓋率（套刻精度）提高了約30％。

據(jù)悉，該系統(tǒng)整機(jī)報(bào)價(jià)達(dá)到了1.45億美元(約合人民幣9.38億元)。不過(guò)，ASML未透露接收客戶是哪一家。

  

圖：第一代光刻機(jī) NXE:3400B

目前，ASML 旗下EUV光刻機(jī)還是第一代產(chǎn)品，EUV光源波長(zhǎng)13.5nm左右，物鏡NA數(shù)值孔徑0.33，并發(fā)展了一系列型號(hào)。

最早量產(chǎn)出廠的是NXE:3400B，產(chǎn)能有限，晶圓產(chǎn)能只有125WPH（片晶圓/小時(shí)），目前的出貨主力是NXE:3400C，產(chǎn)能提升到135WPH，而最新的NXE:3600D產(chǎn)能進(jìn)一步提升到160WPH。

第二代EUV光刻機(jī)將會(huì)是NXE:5000系列，物鏡NA提升到0.55，進(jìn)一步提高光刻精度，但原計(jì)劃2023年問(wèn)世，現(xiàn)在推遲到2025-2026年，而價(jià)格預(yù)計(jì)將突破3億美元。